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微电子行业过滤解决方案

来源：微电子发布时间：2021-07-16 浏览：1026次

过滤减少了空气中的分子污染风险

需要严格控制微粒和空气分子污染（AMC），以实现高产量、低废品率的半导体制造。

AMC的来源包括：

化学废气
来自其他行业和工艺的废气
汽车尾气
季节性因素

AMC造成的故障通常分为：

机械效应包括冷却气流阻塞、移动或光学部件干扰以及表面变形。
化学影响包括含硫和含氯盐的灰尘造成电气部件。
电效应包括阻抗变化和电子电路导体桥接。

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